用于半導體生產(chǎn)工藝的高性能質(zhì)量流量控制器的EtherCAT通訊版本，符合SEMI認證。EtherCAT通訊用于半導體制造設(shè)備的高速傳輸系統(tǒng)。

標配包括半導體制造工藝所需的金屬密封件和LINTEC**的環(huán)境溫度補足式質(zhì)流傳感器，支持液化氣體等選配規(guī)格。

EtherCAT質(zhì)量流量控制器
　　　　　　　　 MC-5000C

特點

  • 精度范圍±1%S.P.
  • 金屬密封件
  • 無塵生產(chǎn)（粒子標準監(jiān)控）
  • 環(huán)境溫度補足式質(zhì)流傳感器
  • EtherCAT通訊

選配規(guī)格

  • 小流量F.S.
  • 液化氣體
  • 大流量范圍

使用范例

EtherCAT通訊設(shè)備的統(tǒng)一化

越來越多的半導體制造設(shè)備配備了EtherCAT通訊接口（數(shù)字I/F），用于高速控制機械臂等運輸系統(tǒng)。EtherCAT通訊有65,536個節(jié)點，MFC的所有測量系統(tǒng)和驅(qū)動系統(tǒng)元件都可以與EtherCAT通訊統(tǒng)一。

規(guī)格表

溫度 *小壓差 *大壓差 精度 控制范圍 *小F.S. *大F.S. 密封件
15~35℃ 50kPa 300kPa ±1%S.P. 2~100%F.S. 10SCCM 300SLM Au

※此表僅表示一般規(guī)格的MFC。 根據(jù)選配規(guī)格變化。