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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱(chēng)：THERMOCERA日本手套箱薄膜實(shí)驗(yàn)室設(shè)備

  • 產(chǎn)品型號(hào)：MiniLab-026-GB
  • 產(chǎn)品廠商：THERMOCERA日本K.K
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
MiniLab-026 和 MiniLab-090 的腔室部分與手套箱工作臺(tái)相連，控制架存放在工作臺(tái)下方。 這是一種薄膜實(shí)驗(yàn)裝置，設(shè)計(jì)用于連接到手套箱。 這是一種節(jié)省空間的裝置，將濺射和真空沉積等薄膜沉積設(shè)備與手套箱安裝區(qū)域集成在一起。
詳情介紹：
OLED、OPV、OTFT、石墨烯和 TMD（過(guò)渡金屬硫族化合物）等 2D 材料的沉積過(guò)程要求樣品在與氧氣和水分隔離的惰性氣體氣氛中處理。
在MiniLab-026/00-GB中，PVD工藝室被安置在國(guó)標(biāo)箱中，以在緊湊且節(jié)省空間的環(huán)境中為有機(jī)薄膜實(shí)驗(yàn)創(chuàng)造一個(gè)“無(wú)氧和無(wú)濕氣”的環(huán)境。

特征

 

  • 節(jié)省空間。 薄膜沉積裝置適合手套箱主體的尺寸。
  • 成膜后，樣品可以在工作臺(tái)控制的氣氛中處理，而不會(huì)暴露在大氣中。
  • PVD沉積、旋涂應(yīng)用和熱板烘烤等一系列任務(wù)可以在GB內(nèi)無(wú)縫執(zhí)行，而無(wú)需將其暴露在外部空氣中。

適用機(jī)型

 

  • MiniLab-026： 26升體積小腔金屬
    /有機(jī)/EB沉積、濺射、射頻/直流蝕刻、退火
  • MiniLab-090： 90l 容積箱室金屬
    /有機(jī)/EB 沉積、濺射、射頻/直流蝕刻、退火

靈活的系統(tǒng)

 

豐富的沉積模塊，可靈活配置您需要的源。
腔室打開(kāi)和關(guān)閉規(guī)格，便于操作

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