應答時間200msec的超高速質(zhì)量流量控制器（MFC）。

通過使用熱傳感器，實現(xiàn)100msec(typical)高速流量控制。使用LINTEC**的非接觸式熱流量傳感器和壓電控制閥，可實現(xiàn)腐蝕性氣體的超高速流量控制。

流量精度可達到±1.0％S.P.，數(shù)字通信方式可選擇DeviceNet或EtherCAT。

產(chǎn)品特點

  • 超高速流量控制200msec
  • 精度±1%S.P.
  • 使用溫度5～50℃
  • 金屬密封材
  • 無塵（粒子標準監(jiān)控）
  • 周圍溫度補償傳感器
  • 支持EtherCAT通訊方式
  • 支持DeviceNet?通訊方式

超高速流量制御

　　　　　　　　　從全閉開始控制
　　　　　　　　　脈沖信號

使用范例

快速刻蝕工藝

在半導體制造工藝中，在微細化的同時還需要提高產(chǎn)量。對于控制反應氣體流量的質(zhì)量流量控制器來說，縮短流量控制開始(啟動)時間的需求日益增加。超高速質(zhì)量流量控制器【MC-7000】因為使用了非接觸式熱式流量傳感器，流量傳感器與流量測量氣體不接觸，可實現(xiàn)200msec的超高速響應。同時，因為非接觸式的特點，該流量控制器可用于測量腐蝕性氣體。

產(chǎn)品規(guī)格表

溫度 *小壓差 *大壓差 精度 控制范圍 *小F.S. *大F.S. 密封材
5~50℃ 50kPa 300kPa ±1%S.P. 2~100%F.S. 5SCCM 20SLM Au