用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的高性能質(zhì)量流量控制器的EtherCAT通訊版本，符合SEMI認(rèn)證。EtherCAT通訊用于半導(dǎo)體制造設(shè)備的高速傳輸系統(tǒng)。
標(biāo)配包括半導(dǎo)體制造工藝所需的金屬密封件和LINTEC**的環(huán)境溫度補(bǔ)足式質(zhì)流傳感器，支持液化氣體等選配規(guī)格。
特點(diǎn)
- 精度范圍±1%S.P.
- 金屬密封件
- 無(wú)塵生產(chǎn)（粒子標(biāo)準(zhǔn)監(jiān)控）
- 環(huán)境溫度補(bǔ)足式質(zhì)流傳感器
- EtherCAT通訊
選配規(guī)格
- 小流量F.S.
- 液化氣體
- 大流量范圍
使用范例
EtherCAT通訊設(shè)備的統(tǒng)一化
越來(lái)越多的半導(dǎo)體制造設(shè)備配備了EtherCAT通訊接口（數(shù)字I/F），用于高速控制機(jī)械臂等運(yùn)輸系統(tǒng)。EtherCAT通訊有65,536個(gè)節(jié)點(diǎn)，MFC的所有測(cè)量系統(tǒng)和驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)元件都可以與EtherCAT通訊統(tǒng)一。
規(guī)格表
| 溫度 | *小壓差 | *大壓差 | 精度 | 控制范圍 | *小F.S. | *大F.S. | 密封件 |
| 15~35℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 10SCCM | 300SLM | Au |
※此表僅表示一般規(guī)格的MFC。 根據(jù)選配規(guī)格變化。
