DeviceNet通訊接口專用質(zhì)量流量控制器。

*新的半導(dǎo)體制造設(shè)備上所搭載的控制器不再采用模擬通訊，而是采用開放式現(xiàn)場(chǎng)網(wǎng)絡(luò)通訊技術(shù)，以達(dá)到高速控制和簡(jiǎn)化布線的目的。

在LINTEC，我們**于行業(yè)開發(fā)了符合SEMI認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)的DeviceNet?通訊專用質(zhì)量流量控制器MC-5000L。該系列產(chǎn)品配備了半導(dǎo)體制造工藝所需的金屬密封件和LINTEC**的環(huán)境溫度補(bǔ)足式質(zhì)流傳感器，還支持液化氣體等多種選配規(guī)格。

DeviceNet質(zhì)量流量控制器
　　　　　　　　　MC-5000L

特點(diǎn)

  • 精度范圍±1%S.P.
  • 使用溫度5～50℃
  • 金屬密封件
  • 無(wú)塵生產(chǎn)（粒子標(biāo)準(zhǔn)監(jiān)控）
  • 環(huán)境溫度補(bǔ)足式質(zhì)流傳感器
  • DeviceNet?通訊

選配規(guī)格

  • 小流量F.S.
  • 液化氣體
  • 大流量范圍

使用范例

配線簡(jiǎn)化，節(jié)省成本

越來(lái)越多的半導(dǎo)體設(shè)備采用現(xiàn)場(chǎng)網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行控制操作。DeviceNet通訊專用MFC （MC-5000L）不需要AD/DA轉(zhuǎn)換器或IO板，具有成本低，配線少的特點(diǎn)。

規(guī)格表

溫度 *小壓差 *大壓差 精度 控制范圍 *小F.S. *大F.S. 密封件
5~50℃ 50kPa 300kPa ±1%S.P. 2~100%F.S. 5SCCM 200SLM Au

※此表僅表示一般規(guī)格的MFC。 根據(jù)選配規(guī)格變化。