可確保精度范圍在±1%S.P.（設(shè)定值）的高性能數(shù)字通訊質(zhì)量流量控制器。

搭配LINTEC**的環(huán)境溫度補(bǔ)足式質(zhì)流傳感器，即使在低溫下也能實(shí)現(xiàn)高精度的流量測(cè)量。 它可抑制由于傳感器受熱而導(dǎo)致的老化劣化，可以對(duì)臭氧等高度可降解的氣體進(jìn)行流量控制。

可搭載的選配規(guī)格包括：液化氣體、小流量 F.S.、大流量范圍、表面實(shí)裝和接頭名稱(chēng)。

使用范例

半導(dǎo)體生產(chǎn)前端工藝

由于CVD（化學(xué)氣相沉積法）、ALD（原子層沉積法）鍍膜設(shè)備和蝕刻設(shè)備中使用高活性氣體，因此具有高耐腐蝕性金屬密封的氣體質(zhì)量流量控制器至關(guān)重要。

此外，前驅(qū)體在常溫常壓下含有大量液化氣體，因此具有耐熱性且不易液化的閥門(mén)結(jié)構(gòu)很重要。 選擇LINTEC高性能質(zhì)量流量控制器MC-3000L，則可選配【液化氣體】【*高工作溫度50°C（可選至55°C）】等相應(yīng)規(guī)格。

分析設(shè)備

分析設(shè)備可能需要控制極小流量，但一般質(zhì)量流量控制器的*小F.S.為5SCCM，因此無(wú)法對(duì)應(yīng)。 MC-3000L高精度質(zhì)量流量控制器可選配F.S.1SCCM或更低流量范圍。

此外，高性能質(zhì)量流量控制器MC-3000L還標(biāo)配死體積較小的隔膜閥。

詳情請(qǐng)致電或郵件咨詢(xún)。

規(guī)格表

※此表僅表示一般規(guī)格的MFC。 根據(jù)選配規(guī)格變化。