采用橡膠密封的質(zhì)量流量控制器，具有制作周期短、成本低的特點(diǎn)。

適用于Ar、N2等惰性氣體及Air的流量控制。由于型號(hào)固定，所以制作周期較短。

選配VR（可變流量）功能可改變流量范圍。支持RS-485數(shù)字通信接口。

經(jīng)濟(jì)型MFC
MC-10RC

特點(diǎn)

  • 經(jīng)濟(jì)適用

選配規(guī)格

  • 可變流量（VR）功能
  • RS-485通訊接口

使用范例

PVD

在PVD濺射鍍膜設(shè)備中，通常使用Ar（氬），這是一種穩(wěn)定的、耐化學(xué)反應(yīng)的惰性氣體。 如果您需要使用MFC控制Ar之類的惰性氣體的流量，我們建議使用經(jīng)濟(jì)型質(zhì)量流量控制器（MC-10RC）。

惰性氣體分析、實(shí)驗(yàn)設(shè)備

如果流量控制的目標(biāo)氣體不會(huì)腐蝕密封材中的樹(shù)脂部分，我們建議使用經(jīng)濟(jì)型質(zhì)量流量控制器MC-10RC。此外，可選的VR功能可支持不同氣體類型與流量范圍。該產(chǎn)品是簡(jiǎn)單實(shí)驗(yàn)、分析設(shè)備的理想選擇。

規(guī)格表

溫度 *小壓差 *大壓差 精度 控制范圍 *小F.S. *大F.S. 密封材
15~35℃ 50kPa 300kPa ±1%F.S. 2~100%F.S. 10SCCM 150SLM 橡膠

※此表僅表示一般規(guī)格的MFC。 根據(jù)選配規(guī)格變化。