精度范圍±1%S.P.的高性能數(shù)字式質(zhì)量流量計。

搭載LINTEC**的環(huán)境溫度補足式質(zhì)流傳感器，可實現(xiàn)高速測量。

與傳統(tǒng)傳感器相比，可以在更低的溫度下以更高的精度測量質(zhì)量流量，因此壽命更長?？蓪?yīng)容易被高溫熱分解的氣體，如O3。

MM-3000L

特點

  • 精度范圍±1%S.P.
  • 使用溫度5～50℃
  • 金屬密封件
  • 無塵生產(chǎn)（粒子標準監(jiān)控）
  • 環(huán)境溫度補足式質(zhì)流傳感器
  • RS-485通訊接口

規(guī)格表

溫度 壓力規(guī)格 精度 *小F.S. *大F.S. 密封件
5~50℃ 400kPa(D)以下 ±1%S.P. 5SCCM 250SLM Au

※此表僅表示一般規(guī)格的MFM。特別定制規(guī)格請詳細咨詢LINTEC。